1. Kev ntshiab
Lub purity ntawm lub hom phiaj sputtering yuav tsum yog tsawg kawg yog 99.95 feem pua. Qhov siab dua qhov purity, qhov ua tau zoo ntawm cov zaj duab xis sputtered.
2. Ceev ceev
Tus txheeb ze ntom ntom ntawm lub hom phiaj sputtering yuav tsum yog ntau tshaj 98 feem pua. Lub hom phiaj nrog qhov ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom ntom tuaj yeem txo qhov sib tsoo ntawm cov yeeb yaj kiab hauv cov txheej txheem txheej txheej, yog li txhim kho cov yeeb yaj kiab zoo.
3. Cov qauv nplej
Molybdenum sputtering phiaj yog cov qauv polycrystalline. Thaum lub sij hawm sputtering, lub hom phiaj atoms tau yooj yim sputtered tawm raws cov kev taw qhia zoo tshaj plaws ntawm hexagonal atoms. Yuav kom ua tiav qhov siab tshaj plaws sputtering tus nqi, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau nce tus nqi sputtering los ntawm kev hloov cov qauv siv lead ua ntawm lub hom phiaj.
4. Cov qoob loo loj
Cov qoob loo loj tuaj yeem nyob ntawm microns mus txog millimeters. Lub sputtering tus nqi ntawm lub hom phiaj nrog cov nplua nplej yog sai dua li ntawm lub hom phiaj nrog coarse grain, thiab cov thickness tis ntawm cov deposited zaj duab xis kuj kuj sib xws rau lub hom phiaj nrog ib tug me me grain loj sib txawv.
5. Kev khi ntawm lub hom phiaj thiab chassis
Ua ntej sputtering, lub hom phiaj yuav tsum tau txuas nrog lub chassis uas tsis muaj oxygen-dawb tooj liab kom ntseeg tau tias thermal conductivity ntawm lub hom phiaj thiab lub chassis zoo. Tom qab kev khi, kev tshuaj xyuas ultrasonic yuav tsum tau ua kom ntseeg tau tias thaj chaw uas tsis yog khi ntawm ob yog tsawg dua 2 feem pua, thiaj li ua tau raws li qhov yuav tsum tau muaj ntawm high-power sputtering.
